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发明名称 SHEET-RESISTANCE MEASUREMENT OF FILM
摘要
申请公布号 JPH08226943(A) 申请公布日期 1996.09.03
申请号 JP19950259108 申请日期 1995.10.05
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 JIYAIMU NARUMAN
分类号 G01R27/02;G01R27/04;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R27/02 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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