DEVICE FOR CORRECTION OF POSITION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT,申请号JP19870322124-传众专利搜索

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发明名称	DEVICE FOR CORRECTION OF POSITION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号	JPH01161728(A)	申请公布日期	1989.06.26
申请号	JP19870322124	申请日期	1987.12.17
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	HASEGAWA SHINICHI
分类号	G05D3/00;H01L21/52;H01L21/68	主分类号	G05D3/00
代理机构		代理人
主权项
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