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经营范围
发明名称
HEAT TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH01162328(A)
申请公布日期
1989.06.26
申请号
JP19870320096
申请日期
1987.12.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
YAMADA NAOKI;SATO YASUHISA
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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