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发明名称 GAS FEEDING INTEGRATED UNIT AND SYSTEM THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08227836(A) 申请公布日期 1996.09.03
申请号 JP19950058148 申请日期 1995.02.21
申请人 CKD CORP 发明人 BANDOU HIROSHI
分类号 H01L21/302;F17D1/02;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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