CLEANING APPARATUS FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE PROBE,申请号JP19950032237-传众专利搜索

发明名称	CLEANING APPARATUS FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE PROBE
摘要
申请公布号	JPH08226927(A)	申请公布日期	1996.09.03
申请号	JP19950032237	申请日期	1995.02.21
申请人	JEOL LTD	发明人	AOKI SUSUMU
分类号	G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/00;G01Q30/00;G01Q40/00;G01Q60/16;G01Q70/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00	主分类号	G01B21/30
代理机构		代理人
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