| 发明名称 |
POLISHING METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08227867(A) |
申请公布日期 |
1996.09.03 |
| 申请号 |
JP19950286171 |
申请日期 |
1995.11.02 |
| 申请人 |
NIPPONDENSO CO LTD |
发明人 |
MATSUI MASAKI;NAGAYA MASATAKE;FUKAYA AKINARI;HIMI KEIMEI |
| 分类号 |
B24B49/14;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B49/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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