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发明名称
SCANNING TYPE PROXIMITY ALIGNER AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
JPH08220769(A)
申请公布日期
1996.08.30
申请号
JP19950025647
申请日期
1995.02.14
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
FUJITA YOSHIJI;NAGANO HIROYUKI;INOUE TAKASHI;NAKAGAWA TORU
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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