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发明名称 ION BEAM STOPPING MEMBER
摘要
申请公布号 JPH08220298(A) 申请公布日期 1996.08.30
申请号 JP19950059656 申请日期 1995.02.11
申请人 NISSIN HIGH VOLTAGE CO LTD 发明人 IWATAKE TOMOYUKI;BABA TAKASHI
分类号 G21K1/10;C23C14/32;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):G21K1/10 主分类号 G21K1/10
代理机构 代理人
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