发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08222559(A) 申请公布日期 1996.08.30
申请号 JP19950026922 申请日期 1995.02.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOMITA KENICHI
分类号 H01L23/522;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
地址