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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08222539(A)
申请公布日期
1996.08.30
申请号
JP19950029728
申请日期
1995.02.17
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
FUJISHIMA MASAAKI
分类号
B08B3/10;B26F3/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B3/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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