发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08222539(A) 申请公布日期 1996.08.30
申请号 JP19950029728 申请日期 1995.02.17
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 FUJISHIMA MASAAKI
分类号 B08B3/10;B26F3/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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