| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08222583(A) |
申请公布日期 |
1996.08.30 |
| 申请号 |
JP19950049044 |
申请日期 |
1995.02.13 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
TERADA TOSHIYUKI;SUZUKI TETSUYA;FUJITA YUKIHISA;FUJII SATOSHI |
| 分类号 |
C30B29/48;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/363;H01L21/365;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/363;H01S3/18 |
主分类号 |
C30B29/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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