| 发明名称 |
ELECTRON BEAM PROCESSING METHOD AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08222173(A) |
申请公布日期 |
1996.08.30 |
| 申请号 |
JP19950022664 |
申请日期 |
1995.02.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SATO TADASHI;HORI YASURO;SHIRAKATA HIROFUMI;SHIONO SHIGEO;KAMIIDE YASUO |
| 分类号 |
B01J19/08;B01D53/32;G21K5/00;G21K5/04;H01J37/04;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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