发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08222729(A) 申请公布日期 1996.08.30
申请号 JP19950023258 申请日期 1995.02.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAMOTO MASABUMI
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/10;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址