| 发明名称 |
PULSE HEAT TOOL AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08222609(A) |
申请公布日期 |
1996.08.30 |
| 申请号 |
JP19950025287 |
申请日期 |
1995.02.14 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
NAKAMURA TSUTOMU;NAKAI TETSUO |
| 分类号 |
H01L21/603;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/603 |
主分类号 |
H01L21/603 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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