发明名称 |
ROTARY SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08222512(A) |
申请公布日期 |
1996.08.30 |
申请号 |
JP19950051755 |
申请日期 |
1995.02.15 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YABE MANABU;SANADA MASAKAZU |
分类号 |
G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/16 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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