| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR OPTICALLY MONITORING FILM THICKNESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08219731(A) |
申请公布日期 |
1996.08.30 |
| 申请号 |
JP19950051965 |
申请日期 |
1995.02.16 |
| 申请人 |
SHINCRON:KK |
发明人 |
KIKUCHI KAZUO;ZAISHO SHINICHIRO;NAGAIE SACHIKO |
| 分类号 |
G01B11/06;C23C14/24;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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