MACHINING SYSTEM FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE,申请号JP19950024244-传众专利搜索

发明名称	MACHINING SYSTEM FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号	JPH08220107(A)	申请公布日期	1996.08.30
申请号	JP19950024244	申请日期	1995.02.13
申请人	OLYMPUS OPTICAL CO LTD	发明人	MIYAMOTO YASUSHI
分类号	G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q80/00;G01Q90/00;G11B9/14;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01N37/00	主分类号	G01B21/30
代理机构		代理人
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