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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08222699(A) 申请公布日期 1996.08.30
申请号 JP19950028139 申请日期 1995.02.16
申请人 NEC CORP 发明人 MUKAI KANJI
分类号 H01L21/28;H01L21/308;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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