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发明名称
摘要
申请公布号 JP2529442(B2) 申请公布日期 1996.08.28
申请号 JP19900135066 申请日期 1990.05.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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