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发明名称
摘要
申请公布号 JP2529286(B2) 申请公布日期 1996.08.28
申请号 JP19870195701 申请日期 1987.08.04
申请人 发明人
分类号 H01J37/147;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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