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发明名称 HF cleaning method of silicon wafers.
摘要
申请公布号 EP0683509(A3) 申请公布日期 1996.08.28
申请号 EP19950302875 申请日期 1995.04.27
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 NAKANO, MASAMI;UCHIYAMA, ISAO;TAKAMATSU, HIROYUKI;SUZUKI, MORIE
分类号 C11D7/08;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C11D7/08
代理机构 代理人
主权项
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