振动传感器及导向装置

摘要

一种振动传感器或将该振动传感器作为状态检测装置使用的导向装置。该振动传感器备有基板(5)、形成电容器的圆盘形振动板(3)及保持该振动板且能使其相对于基板平行移动的保持装置(2)、(4)、(6)，在振动板上设置多个弹性位移部(3C)、(3d)。当振动加到该振动传感器上时，振动板的振动部振动，基板和振动板之间形成的静电电容随振动而变化，为用该变化检测振动，设置了弹性位移部，使振动板不随声压振动，所以不会因声压而干扰振动检测输出。

主权项

1.一种振动传感器，其特征在于备有基板、圆盘形的振动板和保持装置，上述振动板具有振动部、支承部、以及与上述支承部和上述振动部连结的可使它们相对于上述基板平行移动的多个弹性位移部，该振动板通过规定的间隙与上述基板相对设置，且使其与上述基板平行，与上述基板一起形成电容器；上述保持装置用来保持上述基板，同时能保持上述振动板的上述支承部且能使上述振动部相对于上述基板向靠近方向或离开方向平行移动，该振动传感器将振动变换为在上述振动板和上述基板之间形成的静电电容的变化，并将该变化作为检测信号输出。