发明名称
摘要
申请公布号 JP2529398(B2) 申请公布日期 1996.08.28
申请号 JP19890155401 申请日期 1989.06.16
申请人 发明人
分类号 H01J37/20;G01N1/28;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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