发明名称 Liquid metal ion source for producing cobalt ion beams
摘要
申请公布号 EP0620582(B1) 申请公布日期 1996.08.28
申请号 EP19940105227 申请日期 1994.04.02
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM ROSSENDORF E.V. 发明人 TEICHERT, JOCHEN, DR.;HESSE, EVELYN
分类号 H01J27/22;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/22
代理机构 代理人
主权项
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