发明名称 |
METHOD OF MEASUREMENT OF ELECTROPHYSICAL PARAMETERS OF SEMICONDUCTORS AND DEVICE FOR ITS REALIZATION |
摘要 |
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申请公布号 |
RU822705(C) |
申请公布日期 |
1996.08.27 |
申请号 |
SU19802866149 |
申请日期 |
1980.01.09 |
申请人 |
INSTITUT RADIOTEKHNIKI I ELEKTRONIKI AN SSSR |
发明人 |
FEDOSOV V.I. |
分类号 |
H01L21/70;(IPC1-7):H01L21/70 |
主分类号 |
H01L21/70 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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