发明名称 PLASMA TREATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08218175(A) 申请公布日期 1996.08.27
申请号 JP19950020318 申请日期 1995.02.08
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 TAKANO YUICHI;MAEDA HISASHI;OKADA MINORU;SHIDA YOSHIAKI;EHATA TOSHIKI
分类号 C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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