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经营范围
发明名称
PLASMA TREATING METHOD
摘要
申请公布号
JPH08218175(A)
申请公布日期
1996.08.27
申请号
JP19950020318
申请日期
1995.02.08
申请人
SUMITOMO METAL IND LTD
发明人
TAKANO YUICHI;MAEDA HISASHI;OKADA MINORU;SHIDA YOSHIAKI;EHATA TOSHIKI
分类号
C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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