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发明名称 ELEKTROSTATISCH-MAGNETISCHE-LINSE FUER KORPUSKULARSTRAHLGERAETE.
摘要
申请公布号 AT91822(T) 申请公布日期 1993.08.15
申请号 AT19870104111T 申请日期 1987.03.20
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 FROSIEN, JUERGEN, DR.;PLIES, ERICH, DR.
分类号 H01J37/10;(IPC1-7):H01J37/10 主分类号 H01J37/10
代理机构 代理人
主权项
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