| 发明名称 |
Vorrichtung zum Aufbringen und/oder zum partiellen Entfernen einer dünnen Schicht auf ein bzw. von einem Substrat |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE9218974(U1) |
申请公布日期 |
1996.08.22 |
| 申请号 |
DE19920018974U |
申请日期 |
1992.02.11 |
| 申请人 |
FAIRCHILD CONVAC GMBH GERAETE ZUR HALBLEITERTECHNOLOGIE, 71665 VAIHINGEN, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
B05D1/00;C23C26/02;G03F7/16;(IPC1-7):B05C9/12;B05C11/08;B05C13/02 |
主分类号 |
B05D1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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