| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung der Schichtdicke farbiger Schichten auf transparenten Substraten durch Bestimmung der Abschwächung eines Lichtstrahls beim Durchgang durch die Schicht, wobei eine um eins gegenüber der Anzahl der zu bestimmenden Dicken von Schichten (n) vermehrte Anzahl (n + 1) monochromatischer Lichtquellen bekannter Wellenlängen, so auf ein optisches Empfangselement alternierend richtbar sind, daß zu jedem Zeitpunkt nur Licht einer Wellenlänge (μi) auftrifft und durch Vergleich der transmittierten Lichtleistungen des Lichts mit verschiedener Wellenlänge (μi) beim Durchgang durch das Substrat und die Schicht(en) und ohne eine solche Absorption mit direktem Auftreffen auf das optische Empfangselement die Dicke der einzelnen Schichten (di) bestimmbar ist.</p> |
