| 主权项 |
1. 一种由将至少由基层薄膜、感光层及积层在此感光层之包覆薄膜所构成,卷装在薄膜供给滚轮之积层薄膜,使其经过张力滚轮,介经暂时连贴构件,引导至由搬运装置而搬运而到之基板的前端,于剥离包覆薄膜之状态,暂时连贴于该基板之前端后,介经贴合滚轮而压着于基板,包含基板之搬运工程,上述张力滚轮系通过摇动臂介经弹簧被弹拨于拉回积层薄膜之方向,上述暂时连贴构件系具备:在上述基板侧前端,有沿着积层薄膜之路径之垂直面,由此垂直面之前端斜斜地往离开上述路径之方向弯曲延伸存在之第1的倾斜面及由此第1之倾斜面的前端,更往离开上述路径方向弯曲之第2的倾斜面,以及在这些垂直面及第1与第2之倾斜面吸引保持积层薄膜之吸引孔而构成之薄膜粘着方法,其特征为:在将积层薄膜吸引保持于上述暂时连贴构件之状态下,在上述暂时连贴构件之上统位置,余留上述基层薄膜地而将上述包覆薄膜及感光层在薄膜宽度方向切断之,于沿着上述积层薄膜而配置在其之宽度方向之压轮,将粘着胶带之粘着面向外地卷挂其上,将该压轮由上述暂时连贴构件前端之第1的倾斜面起至第2之倾斜面的前端上,一边使之旋转一边压住,使上述粘着胶带粘着于包覆薄膜,而且,由第2之倾斜面前端位置离开之同时,上述压轮之由上述第2的倾斜面离开时,和上述压轮同步地,将上述粘着胶带由倾斜面往离开方向拉伸,将接着在上述粘着胶带,介经该粘着胶带之离开,由基层薄膜上之感光层而被剥离之包覆薄膜和接着之粘着胶带一起比复卷之,介经上述暂时连贴构件,将上述包覆薄膜被剥离之积层薄膜暂时连贴于上述基板之前端后,在上述暂时连贴构件由上述基板之离开开始后至介经上述贴合滚轮之积层薄膜的压着开始上之间,至少一部分之时间,介经将上述张力滚轮往积层薄膜拉伸方向驱动,把该积层薄膜拉回规定距离,在介经上述贴合滚轮积层薄膜压着开始之前,解除上述张力滚轮之驱动者。2. 如申请专利范围第1项所载之薄膜粘着方法,其中,在上述暂时连贴构件由上述基板之离开开始后,较上述积层薄膜之拉回开始还前面,或同时,在由上述压轮起至包覆薄膜复卷装置之间,对包覆薄膜及粘着在此之粘着胶带赋与松弛者。3. 如申请专利范围第2项所载之薄膜粘着方法,其中在由压轮起至上述包覆薄膜复卷装置止之间,配置有介经弹簧将包覆薄膜及粘着胶带往复卷装置方向拉伸而弹拨之浮动滚轮,将此浮动滚轮往上述压轮方向压出,而赋与上述松弛者。4. 一种将至少由基层薄膜,感光层及积层在此感光层之包覆薄膜所构成而卷装在薄膜供给滚轮之积层薄膜,经过通过摇动臂而介经弹簧将积层薄膜往拉回方向弹拨之张力滚轮,引导至介经搬运装置而被搬运而至之基板的前端,于剥离包覆薄膜之状态下,介经暂时连贴构件暂时连贴于该基板之前端后,介经贴合滚轮一边压着在基板一边搬运基板之薄膜粘着装置,其特征为设置:在上述暂时连贴构件之上述基板侧前端,构成为沿着积层薄膜之路径之垂直面,及由此垂直面之前端起斜斜地由离开上述路径方向弯曲延伸存在之第1的倾斜面;及由此第1之倾斜面的前端起,更向上述路径离开方向弯曲之第2的倾斜面,而且,在这些垂直面及第1与第2的倾斜面形或有吸引保持积层薄膜之吸引孔之同时,配置在上述暂时连贴构件之上流侧,在薄膜宽度方向移动,于余留上述基层薄膜下,将上述包覆薄膜及感光层切断之半切装置,及配置在上述暂时连贴构件之近旁,与上述积层薄膜平行,而且,在移动方向供给粘着胶带之粘着胶带供给装置,及沿着积层薄膜,配置在其之宽度方向,对于上述暂时连贴构件前端之上述第1及第2的倾斜面可以转接自如地,而且,将由上述粘着胶带供给装置来之粘着胶带,使其之粘着面向外地卷挂之压轮,及将此压轮可以旋转自如地支持之同时,将其由上述暂时连贴构件前端之第1的倾斜面起至第2的倾斜面止使之一边旋转一边压住,使上述粘着胶带粘着于包覆薄膜,而且,由第2的倾斜面前端位置离开之压轮驱动装置,及在上述压轮之由上述第2的倾斜面离开时,和上述压轮同步地,将上述粘着胶带往由倾斜面离开之方向拉伸之粘着胶带拉回装置,及将被接着在上述粘着胶带,介经该粘着胶带之离开由基层薄膜上之感光层而被剥离之包覆薄膜,和接着之粘着胶带一同地复卷之薄膜、胶带复卷装置,及可以系合自如地配置在包含上述张力滚轮及摇动臂之积层薄膜拉伸机构,介经上述暂时连贴构件将上述包覆薄膜被剥离之积层薄膜暂时连贴于上述基板之前端后,在上述暂时连贴构件开始了由上述基板之离开后,至介经上述贴合滚轮而开始积层薄膜之压着止之间之至少一部分的时间,与上述积层薄膜拉伸机构系合,将上述张力滚轮往积层薄膜拉伸方向驱动规定距离之薄膜拉伸装置者。5.如申请专利范围第4项所载之薄膜粘着装置,其中在上述压轮和上述薄膜,胶带复卷装置之间,设置有将上述粘着胶带及粘着于此之包覆薄膜,于上述暂时连贴装置开始了由上述基板之离开后,至介经上述薄膜拉伸装置之薄膜拉伸开始以前或同时,使之松弛之松弛赋与装置者。6. 如申请专利范围第5项所载之薄膜粘着装置,其中之上述松弛赋与装置系装设在上述粘着胶带拉回装置之浮动滚轮及上述压轮驱动装置之间,对于该压轮驱动装置而言,为将上述浮动滚轮压往上述压轮之方向之压入装置者。7. 如申请专利范围第6项所载之薄膜粘着装置,其中之上述粘着胶带拉回装置系具有突出设置于上述松弛赋与装置,和上述压轮一体的进退之导引轴,及可以滑动自如,且介经上述薄膜拉回弹簧被往由上述压轮离开方向弹簧拨支持于此导引轴之同时,将上述浮动滚轮可以旋转自如地支持之轴承构件而构成,上述压入装置系气缸装置,其之气缸及杆之一方和上述导引轴,另一方和上述轴承构件分别连接者。8. 如申请专利范围第4项所载之薄膜粘着装置,其中之上述薄膜拉伸装置系将上述张力滚轮往积层薄膜拉伸方向驱动规定距离后,复归于待机位置而构成者。9. 如申请专利范围第4项所载之薄膜粘着装置,其中之上述粘着胶带拉回装置系包含:和上述压轮平行,而且,在该压轮之进退方向可以移动自如地安装于上述压轮驱动装置,于上述压轮和上述薄膜胶带复卷装置之间,上述粘着胶带及介经其而被剥离之包覆薄膜被卷挂着之浮动滚轮,及将此浮动滚轮往压轮缩回方向弹拨,其之弹簧力被设为:由于施于介经上述压轮驱动装置之压轮突出时之粘着胶带之拉伸力而会被压缩之程度之薄膜拉回弹簧而构成者。10. 如申请专利范围第9项所载之薄膜粘着装置,其中之上述粘着胶带拉回装置之上述薄膜拉回弹簧系被设定为较弹拨上述摇动臂之弹簧还大的弹簧常数者。11. 如申请专利范围第4项所载之薄膜粘着装置,其中之上述压轮驱动装置系包含:和上述压轮平行配置之支持轴,及支持于此支持轴之面对上述薄膜路径宽度方向略中央之位置之调节机架,及在此调节机架之近旁位置,可以摇动自如地被支持于上述支持轴之轴心外周,同时,沿着上述支持轴而在两侧延伸存在之支持机架,及在上述第1之倾斜面可以伸缩自如地支持于此支持机架之长度方向两端,同时,将上述压轮可以旋转自如地支持于其前端之一对的线性轴,及使此线性轴于轴方向使之进退之驱动器,及配置在上述调节机架及支持机架之间,对于调节机架而言,将支持机架往上述线性轴前端之压轮之压接于上述倾斜面之方向弹拨之滚轮弹拨弹簧而构成者。12. 如申请专利范围第4项所载之薄膜粘着装置,其中之上述半切装置系具有:和上述积层薄膜直交,而且,在该积层薄膜之宽度方向且与此直交之面内可以旋转自如,于积层薄膜之宽度方向可以往复运动自如之碟式刀,及和此碟式刀之移动方向两侧相邻而接,一对地可以旋转自如地设置在和碟式刀之旋转面平行之面内,一对之旋转面之积层薄膜侧的共通外接面和上述碟式刀之旋转刀刃略为外接之导引滚轮而构成者。13. 如申请专利范围第12项所载之薄膜粘着装置,其中之上述半切装置系具有:包含沿着积层薄膜而配置在其之宽度方向之导引构件之宽度方向驱动装置,及介经此宽度方向驱动装置,沿着上述导引构件,在积层薄膜之宽度方向可以往复运动自如地被支持之同时,支持上述导引滚轮之滑动构件,及支持上述碟式刀之同时,在上述积层薄膜方向一定范围内,可以进退自如地被支持于上述滑动构件之可动构件,及装设在该可动构件及上述滑动构件之间,将该可动构件弹拨于积层薄膜方向之弹簧,及调整此弹簧之设定长之弹簧调整装置而构成者。14. 如申请专利范围第12项所载之薄膜粘着装置,其中使上述积层薄膜位于其间,在面对上述碟式刀之行走轨迹位置,被置该碟式刀通过积层薄膜被压住之由弹性材所构成之刀台者。15. 如申请专利范围第14项所载之薄膜粘着装置,其中之上述宽度方向驱动装置及切刀台系被支持于同一之单元机架上者。16. 如申请专利范围第14项至第15项其中之一所载之薄膜粘着装置,其中之上述暂时连贴构件系包含:具备上述垂直面之主真空板,及连结于此主真空板之薄膜进给方向前端,具备上述第1及第2之倾斜面之薄膜暂时连贴构件本体而成,在上述薄膜暂时连贴构件本体之薄膜进给方向前端近旁埋设有加热器,在上述主真空板之内部设置有和表面平行而贯通之冷却液流通的通液孔者。17. 如申请专利范围第16项所载之薄膜粘着装置,其中在上述薄膜暂时连贴构件本体之内部设置有和表面平行贯穿之冷却液流通之第2通液孔者。18. 如申请专利范围第16项所载之薄膜粘着装置,其中设置有二于上述薄膜路径之上述暂时连贴构件近旁的一个以上的地方,对于薄膜而言,由上述暂时连贴构件之反对侧可以转接自如地,而且,于轴方向贯通其内部,冷却液可流通之冷却滚轮者。19. 如申请专利范围第16项所载之薄膜粘着装置,其中之上述通液孔系以贯穿插于主真空板之不锈钢管而成者。图示简单说明:图1系表示关于本发明之实施例之薄膜粘着装置之断面图。图2系表示同实施例之压轮驱动装置之重要部分之放大平面图。图3系图2之沿着III-III线之断面层。图4系表示同实施例之半切装置之一部分断面的侧面图。图5系图4之V-V线视层。图6系表示同实施例之粘着胶带供给装置之背面图。图7系表示使同实施例之粘着胶带供给装置进退之机构之一部分断面的正面图。图8系图7之沿着VIII-VIII线之断面层。图9系表示同实施例之暂时连贴构件之放大断面图。图10系沿着图9之X-X线之断面图。图11系表示同实施例装置之剥离包覆薄膜工程之待机状态的断面图。图12系表示同剥离工程之粘着胶带压住过程。图13系表示同剥离工程之压轮缩回位置之状态的断面图。图14系表示同实施例装置之包覆薄膜剥离后,暂时连贴积层薄膜之过程的断面图。图15系表示同实施例之暂时连贴后,将积层薄膜拉回之工程之断面图。图16系表示同实施例之积层薄膜粘着于基板工程终了瞬间前之状态的断面图。图17系表示同实施例之粘着于基板之积层薄膜的状态的断面图。图18系表示将感光层余留在基板上以剥离基层薄膜之过程的断面图。图19系表示暂时连贴构件之其他的实施例,和图9相同之断面图。 |
