| 发明名称 |
Process for igniting and operating a low-voltage discharge and a vacuum treatment installation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2267387(B) |
申请公布日期 |
1996.08.21 |
| 申请号 |
GB19930010269 |
申请日期 |
1993.05.19 |
| 申请人 |
* BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
JURGEN * RAMM;EUGEN * BECK;HUGO * FREI;ALBERT * ZUEGER;PETER * GUNTER |
| 分类号 |
C23F4/02;H01J37/06;H01J37/30;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
C23F4/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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