| 发明名称 |
Improved surface planarizing methods for integrated circuit devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0498521(B1) |
申请公布日期 |
1996.08.21 |
| 申请号 |
EP19920300020 |
申请日期 |
1992.01.02 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
REINHARDT, KAREN |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3105;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/310 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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