| 发明名称 |
FORMING METHOD OF ROUGHENED POLYSILICON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08213554(A) |
申请公布日期 |
1996.08.20 |
| 申请号 |
JP19950015638 |
申请日期 |
1995.02.02 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MOTOKAWA YOSUKE |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/32;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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