发明名称 OPTICAL DISPLACEMENT MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH08210814(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950278364 申请日期 1995.10.02
申请人 CANON INC 发明人 ISHIZUKA AKIRA;KANEDA YASUSHI
分类号 G01D5/38;G01B11/00;G01D5/36;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01D5/38
代理机构 代理人
主权项
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