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发明名称 RESIST COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08211622(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950019518 申请日期 1995.02.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIBA MITSUAKI;NAMIKI JUNICHI;ICHIMURA YUKIO;TSUBOKA TOMOAKI
分类号 G03F7/16;B05C1/02;B05C11/10;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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