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发明名称 INTERNAL TEMPERATURE MEASURING INSTRUMENT FOR HEATING FURNACE
摘要
申请公布号 JPH08210923(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950041306 申请日期 1995.02.06
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 NOGAMI KATSUAKI
分类号 G01K1/14;C23C16/46;C30B25/16;F27B11/00;F27D21/00;G01K7/00;G01K7/02;G01K15/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/324;H05B3/00;(IPC1-7):G01K7/02 主分类号 G01K1/14
代理机构 代理人
主权项
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