| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE OF INSPECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08210881(A) |
申请公布日期 |
1996.08.20 |
| 申请号 |
JP19950041234 |
申请日期 |
1995.02.06 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK |
发明人 |
HAGIWARA JUNICHI |
| 分类号 |
G01K15/00;G01D21/00;G01J5/00;G01J5/10;G01R31/26;G05D23/19;H01L21/66;(IPC1-7):G01D21/00 |
主分类号 |
G01K15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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