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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08213372(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950043532 申请日期 1995.02.07
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOSHIBA CORP 发明人 INASAWA KOICHIRO;OKAMOTO SUSUMU;HAYASHI HISATAKA;MATSUSHITA TAKAYA
分类号 H05H1/46;C23F4/00;C30B33/12;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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