发明名称 OPTICAL MICROSCOPE WITH FILM THICKNESS MEASURING FUNCTION
摘要
申请公布号 JPH08210818(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950166898 申请日期 1995.06.07
申请人 KEYENCE CORP 发明人 OKAMOTO YOICHI;MIKI TOMOYUKI;MORIWAKI TAKESHI
分类号 G01B11/06;G02B21/00;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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