| 发明名称 |
PLASMA TREATING METHOD AND ITS EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08213373(A) |
申请公布日期 |
1996.08.20 |
| 申请号 |
JP19950280456 |
申请日期 |
1995.10.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NOGUCHI MINORU;OTSUBO TORU;AIUCHI SUSUMU;KAMIMURA TAKASHI;FUJII TERU |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
