| 发明名称 |
SURFACE OBSERVATION METHOD AND DEVICE AND FINE-MACHINING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08211076(A) |
申请公布日期 |
1996.08.20 |
| 申请号 |
JP19950016684 |
申请日期 |
1995.02.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YOSHIMURA TOSHIYUKI;HOSOKI SHIGEYUKI;SHIGENIWA AKIYOSHI;OKAZAKI SHINJI |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/02;G01Q60/10;G01Q60/24;G01Q80/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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