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发明名称
COATING METHOD
摘要
申请公布号
JPH08213308(A)
申请公布日期
1996.08.20
申请号
JP19950038350
申请日期
1995.02.27
申请人
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
发明人
SAGO HIROHITO;FUJIYAMA SHIGEMI;SHIMAI FUTOSHI;UEHARA AKIRA
分类号
G03F7/16;B05D1/02;B05D1/40;B05D7/00;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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