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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08213612(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950042558 申请日期 1995.02.08
申请人 NEC CORP 发明人 HAYASHI MIKIJI
分类号 H01L21/28;H01L21/205;H01L21/304;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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