发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08213450(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950019150 申请日期 1995.02.07
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMANO KOJI
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
地址