发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08213392(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950014831 申请日期 1995.02.01
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AOKI HIROSHI
分类号 H01L21/764;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
主权项
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