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发明名称 Continuous etching method and apparatus therefor
摘要
申请公布号 EP0429270(B1) 申请公布日期 1996.08.21
申请号 EP19900312550 申请日期 1990.11.19
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO., LTD. 发明人 OKUDAIRA, SADAYUKI;KOMATSU, HIDEO;MATSUMOTO, OSAMU;KANAZAWA, MOTOICHI;SASADA, KAZUO;NAITO, TSUYOSHI
分类号 C23C16/50;C23F4/00;G03F7/36;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G03F7/36 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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