| 发明名称 |
CRYOPUMP AND MANUFACTURING DEVICE OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08210252(A) |
申请公布日期 |
1996.08.20 |
| 申请号 |
JP19950016770 |
申请日期 |
1995.02.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
SUZUKI SATOSHI;UCHIDA JUNICHI;KOYANAGI KOICHI;SAKAGUCHI JIRO;SAKAMOTO TADAO |
| 分类号 |
F04B37/08;F04B37/16;F04B37/20;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):F04B37/08 |
主分类号 |
F04B37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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