发明名称 LAYERED STRUCTURE WITH A SILICIDE LAYER, AND PROCESS FOR PRODUCING SUCH A LAYERED STRUCTURE
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Schichtstruktur mit einer Silicid-Schicht, bei der diese auf einer siliciumhaltigen Oberfläche gebildet wird. Es ist dabei Aufgabe der Erfindung, eine solche Schichtstruktur zu realisieren, die einen Einsatz zur Herstellung von Bauelementen ermöglicht ohne die aus dem Stand der Technik dabei auftretenden Nachteile. Dazu soll wenigstens ein Teil der Silicid-Schicht gegenüber dem verbleibenden Teil der Silicid-Schicht in einer zur Schichtebene dieses Teils senkrechten Richtung versetzt angeordnet sein. Auf diese Weise lassen sich unterschiedliche elektronische Bauelemente mit einer solchen Schichtstruktur realisieren.</p>
申请公布号 WO1996024952(A1) 申请公布日期 1996.08.15
申请号 DE1996000172 申请日期 1996.02.01
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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