| 发明名称 |
MANUFACTURE OF POLYCRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM, THIN FILM TRANSISTOR AND DISPLAY DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08213637(A) |
申请公布日期 |
1996.08.20 |
| 申请号 |
JP19950311441 |
申请日期 |
1995.11.29 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
AYA YOICHIRO;NODA TOMOYUKI;SANO KEIICHI |
| 分类号 |
H01L21/764;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/764 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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