发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08213456(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950017049 申请日期 1995.02.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAJIMA SUSUMU;MATSUBARA JIYUNKO;ADACHI ETSUSHI
分类号 H01L21/768;H01L21/312;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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